Parylene MEMS

Parylene MEMS小组成员包括张美璇（博士）、徐涵（博士）和陈浪（博士）。

研究内容包括:

Parylene MEMS 工艺开发和性能研究.

多种类Parylene 沉积工艺开发，包括Parylene C, Parylene N，Parylene F和Parylene AF4

基于纳米森林结构的Parylene粘附性增强

超薄Parylene沉积方法研究，可以实现低至10nm的高精度Parylene沉积效果

多种类Parylene薄膜性能测试和参数库

多种类Parylene薄膜性能测试和参数库

基于Parylene MEMS精细加工的微结构用于芯片热绝缘

基于PcPDMS的低渗透微纳流道制备

基于Parylene C 自发荧光的Parylene 生物荧光标记

基于Parylene C 微孔阵列滤膜的快速痕量细胞俘获

基于Parylene MEMS的高密度高性能硅基柔性电子